深圳證券交易(yi)所

股票(piao)代(dai)碼︰002819

股票(piao)代(dai)碼

SZ002819

400-650-5566
東方中科��pu)ㄗ 詘氳繼?��肥諧。  ┐壤胱映��chen)積、刻蝕(shi)、橢偏儀等測試設備
半導體設備品牌(pai)索(suo)引
公(gong)司主要產品概況
  • SENTECH
    等離子加工設備︰等離子刻蝕(shi)(ICP、RIE)、沉(chen)積(PECVD、ICPECVD),原子層(ceng)沉(chen)積(ALD)。
    光學檢測設備︰各(ge)類激(ji)光、光譜(pu)橢偏儀,膜厚測試儀等;
    光學檢測設備可測量膜層(ceng)折射率、厚度(du)等信息,快速(su)可靠;等離子加工設備可滿(man)足各(ge)種半導體材料xian)諂骷?罩械目淌shi)沉(chen)積要求。
  • FEMTO
    等離子清洗(xi)機、等離子去膠機、派瑞林鍍膜機
    小型(xing)等離子設備,性價比高,也bu)墑迪xian)基(ji)本RIE、ICP設備功(gong)能。
  • KEITHLEY
    4200半導體參數測試分(fen)析儀及各(ge)類探(tan)針台。
    模塊(kuai)化設計,可測量IV、CV及高頻特性下參數。
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